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MATERIAL
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SILICON
シリコンウェハー
製品名
径(in)
タイプ
比抵抗(Ω.cm)
①CZ、MCZラップドウェハー
3~8
N&P
1~300
②FZウェハー(NTD)
3~6
N&P
30~800
③Si エピウェハー
4~8
N&P
Blanket:0.03~200、Buried Layer:0.5~200
④SiC、GaNエピウェハー
4~6
N&P
⑤ファウンドリサービス
パワーIC・ディスクリート(5~6in)、Sic(4in)、GaN (6in)など
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